基本信息
丁士进
,男
,1971年04月出生
,任职于复旦大学微纳电子器件与工艺实验室
,副教授
,博士生导师、教授
。
主要研究领域为:闪存(Flash)和阻变存储(RRAM)的原型器件研究、用于电能存储的固态超级电容器及其制备技术、 射频集成电路用高密度MIM电容的制备及其射频测试、极大规模集成电路互连材料和工艺、纳米集成电路制造新工艺
主要研究领域为:闪存(Flash)和阻变存储(RRAM)的原型器件研究、用于电能存储的固态超级电容器及其制备技术、 射频集成电路用高密度MIM电容的制备及其射频测试、极大规模集成电路互连材料和工艺、纳米集成电路制造新工艺
学术成果
论文
2018年,氢元素对铟镓锌氧化物薄膜晶体管性能的影响,物理学报,2018年09期,页码:28-35
2017年,基于Ni电极和ZrO_2/SiO_2/ZrO_2介质的MIM电容的导电机理研究,物理学报,2017年08期,页码:327-334
2016年,Investigation of traps at MoS,IEEE Electron Device Letters,2016年37卷4期,页码:516-518
2016年,Voltage-dependent capacitance behavior and underlying mechanisms in metal-insulator-metal capacitors with Al,Journal of Physics D: Applied Physics,2016年49卷13期
2016年,Chemical-Vapor-Deposited Graphene as Charge Storage Layer in Flash Memory Device,Journal of Nanomaterials,2016年2016卷
2015年,热退火对等离子体增强化学气相沉积SiCOH薄膜结构与性能的影响,物理学报,2015年10期,页码:267-273