乔东海
论文

汪承灏
论文
2008年,应用于体声波谐振器的ZnO薄膜结构和电学特性,功能材料与器件学报,2008年第4期期,页码:95-100
2005年,一种以多晶硅为振动膜的MEMS传声器研制,中国机械工程杂志社,2005年Vol.16卷总第182期期