一种石墨烯/磷化铟光电探测器及其制备方法

林时胜王朋李晓强章盛娇徐志娟吴志乾徐文丽陈红胜骆季奎李尔平 · 2015

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专利权人：

浙江大学

申请人：

浙江大学

通讯地址：

310027浙江省杭州市西湖区浙大路38号

专利类型：

发明专利

专利号：

CN104779315A

公开日期：

2015.07.15

摘要：

本发明公开了一种石墨烯/磷化铟光电探测器,自下而上依次有磷化铟层、石墨烯层和表面电极;或者自下而上依次有磷化铟层、绝缘层和表面电极,还设有石墨烯层,石墨烯层设置在磷化铟层上,并与表面电极接触.制备该光电探测器的方法是:将石墨烯转移至洁净的磷化铟片上,再在石墨烯层上制作表面电极;或者在洁净的磷化铟片上生长绝缘层,再在上述绝缘层上制作表面电极,最后将石墨烯转移至磷化铟上,并使石墨烯与表面电极相接触.本发明的石墨烯/磷化铟光电探测器利用石墨烯材料的高载流子迁移率和良好的光电响应,结合磷化铟优异的半导体光电性质,光响应灵敏,响应度高,且制备工艺简单.