纳机电系统

胡小唐李源饶志军胡春光傅星 · 2004

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微机电系统

纳机电系统

纳米技术

期刊名称：

纳米技术与精密工程 2004 年 01 期

发表日期：

2004

摘要：

纳机电系统(NEMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域,同时也是纳米技术的重要组成部分.文中介绍了NEMS器件的微小尺寸、超高频率和超低能耗等重要特性,并列举了NEMS在生物、信息和纳米流体学等领域的应用.最后讨论了NEMS在发展中遇到的问题和涉及到的关键技术,如微观效应的影响,NEMS加工技术,NEMS的设计、仿真和优化,NEMS器件的驱动与检测,NEMS器件与宏观世界的通讯等.