聚合物阵列波导光栅复用器的发展现状

赵禹马春生张大明王菲崔占臣刘式墉衣茂斌 · 2002

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期刊名称：

重庆邮电学院学报(自然科学版) 2002 年 04 期

摘要：

介绍了聚合物阵列波导光栅(AWG)复用器的基本原理,进而用Al掩模制做聚合物AWG光波导。结果表明:AWG器件的制做工艺,Al掩模技术明显优于厚胶掩模技术。用这种技术制备的器件,其结构指标与理论设计相符合而且波导在1.55μm处实现了单模传输。