RAINBOW压电陶瓷与形状记忆合金的集成

沈星刘永刚裘进浩 · 0

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摘要：

采用物理气相沉积法在RAINBOW压电陶瓷上沉积了形状记忆合金膜,分析了不同制备工艺对膜层的影响,优化了工艺参数。划痕试验结果、XRD图谱以及电镜照片表明,膜层质量较好,而且与RAINBOW压电陶瓷还原层能形成良好的结合界面,为今后形状记忆合金(SMA)与RAINBOW压电陶瓷的进一步集成设计提供了可靠的依据。