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基于飞秒激光时空聚焦技术的三维微纳加工
井晨睿 王朝晖 程亚 · 0
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阅读量：195
激光光学
三维微纳加工
时空聚焦技术
加工分辨率
脉冲前沿倾斜
光强平面倾斜
非互逆直写
非线性光电离
摘要：
介绍飞秒激光时空聚焦技术的基本原理,回顾了该技术在改善飞秒激光加工的分辨率、抑制加工过程中的非线性效应以及提高材料加工质量等方面的应用。重点讨论了脉冲前沿倾斜(PFT)、光强平面倾斜等时空聚焦飞秒激光脉冲的独特光场特性及其对材料加工产生的影响。介绍了时空聚焦技术在强场物理领域中的应用,并对该技术的适用范围进行了讨论。最后对该技术的特点和应用进行总结,并指明了未来的研究方向。
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