光刻技术的历史与现状

楼祺洪袁志军张海波 · 2017

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期刊名称：

科学 2017 年 03 期

摘要：

集成电路的飞速发展有赖于相关的制造工艺——光刻技术的发展,光刻技术是迄今所能达到的最高精度的加工技术。集成电路产业是现代信息社会的基石。集成电路的发明使电子产品成本大幅度降低,尺寸奇迹般减小,以计算机为例,1946年诞生的世界第一台数字计算机重30吨,占地约