微纳坐标测量机间接校准方法的探究

施玉书高思田宋小平郭鑫陈思文皮磊李伟李琪李适王兴旺 · 2017

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计量学

期刊名称：

计量学报 2017 年 01 期

摘要：

针对微纳坐标测量机的高精度性能指标无法精确校准的问题,提出了一种间接校准的方案。使用量块及标准球板校准微纳坐标测量机的尺寸测量示值误差,用标准球校准仪器的探测误差。并对中国计量科学研究院的微纳坐标测量机进行了校准实验,实验结果表明,该仪器的尺寸测量示值误小于0.2μm,探测误差仅为0.125μm,校准结果均优于仪器的最大允许误差,验证了校准方案的合理可行性。