高功率脉冲复合直流磁控溅射制备类金刚石薄膜的结构与性能

高迪林松盛许伟邹俭鹏杨洪志 · 2019

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高功率脉冲

期刊名称：

粉末冶金工业 2019 年 01 期

摘要：

采用高功率脉冲复合直流磁控溅射技术,以工作气压、基底偏压和靶电压为影响因素设计正交试验进行类金刚石(DLC)薄膜的制备研究,采用扫描电镜(SEM)、纳米硬度计、拉曼光谱和3D轮廓仪等对DLC膜层进行结构与性能分析。结果表明:制备得到的DLC薄膜厚度约为1μm,硬度在10.00～25.00 GPa之间,最高可达24.29 GPa;对DLC薄膜拉曼峰进行高斯拟合得到位于1 520～1 540 cm~(-1)处的特征峰G峰和1 330～1 370 cm~(-1)处的特征峰D峰。在3个影响因素中,基底偏压对...