纳米结构和器件的自组装技术
万永中 戴永兵 王庆康 曾令刚 辛海维 沈荷生 张志明 · 2001
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会议名称:
2001年纳米和表面科学与技术全国会议
会议时间:
2001-05-01 00:00:01
会议地点:
中国北京
摘要:
<正> 根据Moore’s定则,12-15年后,IC密度将达到1012bit/cm2。这与大脑的神经元的密度相当。为得到亚微米和纳米精度的器件特征尺寸,传统的制造业将付出昂贵的费用(一般尺寸缩小和所需费用呈指数增长关系)。因而新概念的纳米尺度的自组装技术引起研究者们的极大兴趣。纳米结构或器件的自组装具有快
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