摘要：
本发明公开了一种三维垂直耦合光模式转换#隔离复合器件及其制备方法,属于光通信技术领域,包括包层、上芯层波导及下芯层波导,包层覆盖上、下两芯层波导；包层、上芯层波导及下芯层波导的折射率分别为n、n1、n2,其中n1>n2>n；上、下芯层波导的截面尺寸相同,截面尺寸通过有效折射率法确定；上、下芯层波导呈X节垂直耦合结构,两芯层波导之间的最佳垂直距离以及角度通过光束传播法确定。本发明的器件不仅能够实现光在不同模式之间的转换,而且类似与电路中的二极管功能,能够实现光的单向导通；最大的隔离度大于58dB；在波长1550nm处模式转换的效率>99.9％。
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