基于PDMS-磁性纳米粒子复合薄膜的磁控微透镜阵列制造方法

彭倍张遒姝李辉孙江涛 · 2016

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专利权人：

电子科技大学

申请人：

电子科技大学

通讯地址：

611731四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号

专利类型：

发明专利

专利号：

CN105334553A

公开日期：

2016.02.17

摘要：

基于PDMS-磁性纳米粒子复合薄膜的磁控微透镜阵列的制造方法,包括:A制造微透镜阵列凹模板:采用光刻和热熔技术制作微透镜阵列母版,将液态的PDMS预聚物和固化剂混合物注入母版,并通过加热固化PDMS,最后将固化成型的PDMS从母版剥离,得到微透镜阵列凹模板;B制造磁控微透镜阵列:将PDMS-磁性纳米粒子混合溶液旋涂于微透镜阵列凹模板表面,然后对其施加磁场,在磁场作用下磁性纳米粒子沿磁场方向重新排列,形成纤维状微结构,最后将PDMS加热固化后去掉凹模板即得到基于PDMS-磁性纳米粒子复合薄膜的磁控微透镜阵列.由此制作的微透镜,其焦距、数值孔径和光学透过率可以通过施加外磁场调节,成为磁控微透镜.