纳米测量技术与微型智能仪器

蒋庄德王海容王朝晖 · 0

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纳米技术

精密测量

微型机械电子系统

智能仪器

发表日期：

2000

摘要：

纳米测量技术已成为纳米技术的重要组成部分.微型智能仪器,是微型传感器、微型执行器和信息处理技术、微电子技术发展的必然产物,是微型机械电子系统的主要研究内容之一.它将使仪器的性能提高、价格下降、在生产和生活中应用更加方便.微型智能仪器具有良好的应用前景,是21世纪仪器发展的一个重要方向.对纳米测量技术和微型智能仪器的一些普遍问题、关键技术及其发展进行论述.