微型折叠式三维电场传感器
方奕庚 彭春荣 方东明 王宇 夏善红 · 2016
收藏
阅读量:205
期刊名称:
传感器与微系统   2016 年 5 期
发表日期:
2016
摘要:
提出一种基于柔性衬底和三维组装方法的新型三维电场传感器。利用柔性衬底的折叠,构建一种互相垂直的新型三维电场传感器,研究了测量空间电场时的耦合,提出解耦算法,标定灵敏度矩阵,实现了空间电场三个方向分量的准确测量;通过一系列的温湿度实验研究了三维结构的形变,证明了三维电场传感器结构稳定可靠。实验结果表明:所研制的三维电场传感器不仅能消除耦合干扰,实现空间电场分量的准确测量,测量误差在3.61%以内;而且通过新的三维组装方法,大大减少了三维电场传感器的质量、体积,折叠工艺简化了三维传感器的组装,有利于批量化生产。
相关专家
相关课题