测量大直径圆环面平面度的装置及方法
陈宝刚 张景旭 吴小霞 徐伟 张岩 · 2015
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专利权人:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请人:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
通讯地址:
130033吉林省长春市东南湖大路3888号
专利类型:
发明专利
专利号:
201410788237.0
公开日期:
2015.04.15
摘要:
测量大直径圆环面平面度的装置及方法,涉及机械加工装调检测领域的测量技术,解决现有圆环平面度的测量装置存在结构复杂和使用受限的问题,现在测量方法由于存在测量精度低而导致测量误差大等问题,包括精密转台、内调焦光管、光纤点光源、转台调平机构、测杆和CCD探测器。本方法首先利用内调焦光管把光纤点光源成像在被测圆环面上方,精密转台带动点光源的像点旋转在空间画圆,然后以此圆所在的平面为基准,用CCD探测器接收点光源像点,根据脱靶量测出被测点与基准平面的距离,最后通过数据处理计算即可得到被测圆环面的平面度。本发明测量精度高,数据处理简单,操作方便,效率高,成本低;本发明适用于大尺寸圆环件平面度的检测。
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