Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法

朱京涛周斯卡李浩川王占山 · 2013

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专利权人：

同济大学

申请人：

同济大学

通讯地址：

200092上海市杨浦区四平路1239号

专利类型：

发明专利

专利号：

CN102955185A

公开日期：

2013.03.06

摘要：

本发明涉及Mg/Mo/SiC极紫外多层膜反射镜及其制作方法,在超光滑的硅片或玻璃基底上镀制打底层,再交替镀制Mg、Mo和SiC膜层形成Mg/Mo/SiC周期多层膜,最后镀制SiC作为保护层即可.本发明采用熔点高、相态稳定的金属Mo加入到多层膜Mg/SiC中,制作出的三种材料的极紫外多层膜反射镜,克服了Mg/SiC等传统的Mg基多层膜带宽窄的缺点,同时,在极紫外波段Mo的光学常数合适,Mg/Mo/SiC多层膜反射镜保持了Mg基多层膜反射镜高的反射率.因此,Mg/Mo/SiC多层膜反射镜同时兼顾了反射率和工作带宽两方面的光学性能,特别适用于同步辐射光源、超快激光和空间观测等领域等极紫外波段应用.