EB-PVD法制备微层材料的研究

李晓海陈贵清韩杰才孟松鹤 · 2005

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期刊名称：

宇航材料工艺 2005 年 06 期

发表日期：

2005

摘要：

简要介绍了用于电子束物理气相沉积的设备及其发展,阐述了利用该技术制备微层材料的优点,同时对制备工艺和相应的材料性能作了详细的介绍,并指出使用电子束物理气相沉积技术制备微层材料具有广阅的发展前景.