多脉冲组合泵浦的LPP-EUV光源系统

一种多脉冲组合泵浦的LPP-EUV光源系统,由泵浦激光脉冲源组、脉冲延时调节装置组、光束指向调节装置组、LPP-EUV发生装置和同步信号控制器构成.由泵浦激光脉冲源组输出泵浦脉冲,经脉冲延时调节装置组和光束指向调节装置组而产生脉冲组合,然后进入LPP-EUV发生装置作用于靶材,各泵浦激光脉冲源的触发信号由同步信号控制器产生.利用该系统既能突破单脉冲泵浦激光源功率不足的限制,又可以通过调整泵浦脉冲组合以优化能量转化效率,从而提高LPP-EUV光刻光源的功率输出能力.