ZnO薄膜体声波谐振器性能分析和研制

汤亮郝震宏乔东海汪承灏 · 2008

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滤波器

期刊名称：

压电与声光 2008 年第4期期

发表日期：

2008

摘要：

采用射频网络法分析了ZNO薄膜体声波谐振器的谐振特性,并考虑了介质声损耗对品质因数Q值的影响.采用硅体刻蚀工艺在硅基片上制备了以ZNO薄膜为压电膜的薄膜体声波谐振器,并对器件的性能进行了测试.将实验与理论分析结果进行对比,发现实验器件的谐振频率与理论值一致,但器件Q值却比理论值低,进一步的分析揭示了实际器件Q值偏低的原因.

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