摘要：
本发明涉及气敏传感器领域,具体是一种基于低温共烧陶瓷技术的非接触无源气体传感器.解决了现有气体传感器工作温度高,功耗大且不能在无线无源的环境下进行食品药品的变质检测问题.所述传感器是结合低温共烧陶瓷(LTCC)技术和薄膜技术而加工得到的,结构上主要包括三层:供加热与测温于一体的铂电极层、LC导电连接层和供无线无源检测的测试电极与电感线圈层.测试电极表面附着采用独特的加工工艺制备的SWNT/ZnO气味敏感薄膜.利用LC谐振传感原理,使传感器实现了在无线无源的环境下对气体的检测.本发明结构简单、成本低,具有灵敏度高、低功耗、高温稳定性和工作温度低的显著特点,利于实现元件的集成化、小型化.
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