13.9nm软X射线激光用大面积多层膜分束镜研制

王占山张众王风丽吴文娟王洪昌秦树基陈玲燕 · 2004

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软X射线

分束镜

多层膜

等离子体诊断

期刊名称：

强激光与粒子束 2004 年第9期期

发表日期：

2004

摘要：

基于分束镜反射率和透射率的乘积为衡量标准的原则,设计了13.9NM软X射线激光干涉测量所需的多层膜分束镜,用磁控溅射法在有效面积达10MM*10MM,厚100NM的氮化硅窗口上镀制MO/SI多层膜,实现了分束镜制作.用表面轮廓仪实测分束镜面形精度达到NM量级,同步辐射反射率计测试表明,分束镜的反射率和透射率乘积约4%.

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