一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法

张众钟奇王占山 · 2012

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专利权人：

同济大学

申请人：

同济大学

通讯地址：

200092上海市杨浦区四平路1239号

专利类型：

发明专利

专利号：

CN102520470A

公开日期：

2012.06.27

摘要：

本发明属于精密光学元件制作技术领域,公开了一种硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜及其制备方法.本发明的反射镜包括基底(1)和硬铝/碳化硅周期多层膜(2),硬铝薄膜层(3)和碳化硅薄膜层(4)交替沉积于基底(1)表面上.本发明的反射镜制备方法如下:首先对基底(1)进行清洗,然后在基底(1)上镀制硬铝/碳化硅周期多层膜(2).本发明的反射镜克服了传统的铝/碳化硅多层膜界面粗糙度和膜层材料相互渗透较大等缺点,降低了制作工艺难度,并将金属材料的价格降低了2个数量级;这种新型的硬铝/碳化硅极紫外多层膜反射镜具有成膜质量好、易于制作、价格便宜、光学性能满足需求等优势,更适于实现此类产品的产业化.