耐高温压阻力敏硅芯片及静电键合工艺

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耐高温压阻力敏硅芯片及静电键合工艺

赵立波赵玉龙热合曼·艾比布力方续东李建波李勇蒋庄德 · 2011

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压阻力敏硅芯片

期刊名称：

北京理工大学学报 2011 年 10 期

发表日期：

2011

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