纳米压入法微机械材料力学性能测量不确定度的影响因素分类及评价

赵则祥蒋庄德王海容 · 0

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纳米压入

MEMS

力学性能

不确定度

发表日期：

2002

摘要：

在介绍纳米压入法微机械力学性能测量原理的基础上,提出了纳米压入法微机械材料力学性能测量不确定度的I,II类影响因素的观点,并将I类影响因素分为直接和间接影响因素,将II类影响因素分为主要影响因素和次要影响因素.在阐述由这些因素产生的测量不确定度的评价方法基础上,对单晶硅(111)体材的硬度和弹性模量进行了测量与评定,其硬度和弹性模量的评定结果分别为13.57GPA±0.85GPA和156.33GPA±7.85GPA.