摘要：
介绍了13.9 NM马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜的设计、制备与性能检测.基于分束镜反射率和透过率乘积最大的评价标准,设计了13.9 NM软X射线激光干涉实验用多层膜分束镜.采用磁控溅射方法在有效面积为10 MM*10 MM、厚度为100 NM的SI3N4基底上镀制了MO/SI多层膜,制成了多层膜分束镜.利用X射线掠入射衍射的方法测量了MO/SI多层膜的周期.用扩束HE-NE激光束进行的投影成像方法定性分析了分束镜的面形精度,利用光学轮廓仪完成了分束镜面形精确测量.利用北京同步辐射装置测量了分束镜反射率和透射率,在13.9 NM处,分束镜反射率和透过率乘积达4%.使用多层膜分束镜构建了软X射线马赫贞德干涉仪,并应用于13.9 NM软X射线激光干涉实验中,获得了清晰的含有C8H8等离子体电子密度信息的动态干涉条纹.
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