基于球杆仪和光栅尺的工作台精度调整(英文)

陶涛梅雪松姜歌东孙挪刚 · 2005

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误差分析

光栅尺

球杆仪

高精度工作台

期刊名称：

纳米技术与精密工程 2005 年 04 期

发表日期：

2005

摘要：

用球杆仪和光栅尺同时测量了两轴联动精密工作台的走圆运动.结果显示,光栅尺的主要误差源是测量噪声和定位误差,球杆仪的主要误差源是定位误差.尽管对于单轴实时位置反馈来说,光栅尺的测量精度已经足够,但是两个方向光栅尺的测量数据不能反映两轴间的相对精度.通过对光栅尺和球杆仪测量的工作台走圆运动测量数据的分析,建立了测量系统的数学模型,在此基础上解耦并识别出了球杆仪和光栅尺的定位误差.提出了根据光栅尺倾角误差实现工作台精度调整的策略.