摘要：
主要研究了一种适用于微加工工艺的纳米多孔铜(NPC)制备方法.采用酸性柠檬酸铜锌电镀体系制备出Cu68Zn32前驱合金,通过改变前驱合金在盐酸中去合金的时间可以对NPC的微观形貌及孔径分布进行有效控制.研究结果表明,在0.05mol/L的盐酸中腐蚀6h后制备的NPC孔径为80~120nm,而系带尺寸为20~40nm,利用BET法测得其比表面积为8.12m2/g.另外,应用微加工工艺制备出边长为50μm方形微阵列,验证了该NPC制备工艺与微加工工艺有较好的兼容性,为NPC的图形化与集成制造提供一种有效的工艺方案.
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