双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作
董凤良
潘亮
张青川
伍小平
陈大鹏
王玮冰
郭哲颖
· 2005
期刊名称：
红外与毫米波学报
2005 年
06 期
摘要：
该文给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件-微悬臂梁阵列的设计和制作,它是SINX/AU双材料单层膜结构,简化制作工艺、可以直接在空气中成像.实验使用了设计制作的140 * 98微梁阵列和高信噪比的12-BIT CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为5K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.
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