微机械力学性能测试仪

蒋庄德王海容 · 0

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发表日期：

2006

摘要：

微机械力学性能对微机械的设计、加工等具有重要作用,积累和完善微机械力学性能库已经成为进行微机械研究的重要基础课题.该文根据微力微位移方法进行微构件力学性能测试的要求,研制了微机械力学性能测试仪.论文着重论述了微机械、仪器总体设计方法、各部分方案,并给出了测试结果.