高压放电激光触发开关

刘佳琦李文涛秦志勇王文涛王成刘建胜李儒新徐至展 · 2016

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专利权人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

申请人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

通讯地址：

201800上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱

专利类型：

发明专利

专利号：

201610471352.4

公开日期：

2016.11.16

摘要：

一种高压放电激光触发开关，构成包括：绝缘底座、高压电极法兰、高压电极头、低压电极头、低压电极法兰、透镜支撑法兰、透镜压圈和透镜。本发明触发开关可以连续地调节触发开关的自触发电压，使之与工作电压更加接近，更易触发放电；聚焦位置可以精确调节，产生的等离子体能量稳定。本发明可将触发与放电起始的延时缩短在130纳秒以内、延时抖动在5纳秒以内，实现了高精度、高稳定性的高压放电触发，可用于高精度控制的高压放电系统。

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