离子能量和沉积温度对离子束沉积碳膜表面形貌的影响

廖梅勇秦复光柴春林刘志凯杨少延姚振钰王占国 · 2001

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非晶碳

表面形貌

质量分离低能离子束

期刊名称：

物理学报 2001 年第7期期

摘要：

利用质量分离的低能离子束沉积技术 ,得到了非晶碳膜 .所用离子能量为 5 0— 2 0 0eV ,衬底温度从室温到80 0℃ .在沉积的能量范围内 ,衬底为室温时薄膜为类金刚石 ,表面非常光滑 ;而 6 0 0℃下薄膜主要是石墨成分 ,表面粗糙 .沉积能量大于 140eV ,80 0℃时薄膜表面分立着高度取向的、垂直衬底表面、相互平行的开口碳管 .用高分辨电子显微镜看到了石墨平面的垂直择优取向 ,离子的浅注入和应力是这种优先取向的主要机理 .

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