用纳米压入法测量硼化铪涂层的弹性模量

赵则祥胡勇王海容蒋庄德 · 2003

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纳米压入

硼化铪涂层

弹性模量

基底

期刊名称：

机械强度 2003 年 05 期

摘要：

用NanoIndenterⅡ对硼化铪石英和硼化铪硅等膜基结构进行纳米压入测量。通过对测得的载荷—位移曲线进行处理 ,得到硼化铪涂层的弹性模量为 188 78GPa。实验表明 ,较软基底对测量结果的影响较大 ,所得的评定值失真 ,用KING提出的评定模型也未获得较好的结果。因此 ,最大压入深度应在保证压头尖钝化和薄膜表面质量对测量结果影响不太大的情况下尽量减少最大压入深度。