X射线超反射镜的设计与制备

王风丽张众吴文娟王利王占山秦树基陈玲燕 · 2004

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宽波段超反射镜

单纯形调优

粗糙度

磁控溅射

期刊名称：

光学仪器 2004 年 02 期

摘要：

介绍了一种可用于X射线成像望远镜中的高能X射线反射元件的设计和制备。结合Spiller和Yamamoto方法选择了W、C作为膜层材料,用Yamshita设计方法给出初始膜系,经单纯形调优算法设计出掠入射角为8.7mrad时,对波长范围在0.0475nm～0.0886nm范围内的X射线计算反射率达21%宽波段X射线超反射镜。样品采用高精度磁控溅射方法制备,并用X射线衍射仪(XRD)测得在8.7mrad～15.7mrad内反射率为15%左右。