圆形振动膜硅微电容传声器

田静汪承灏徐联乔东海马军郝震宏魏建辉 · 0

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摘要：

硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV/Pa左右,在100Hz~18kHz的范围内的频率响应也较平坦.