MOCVD生长GaN的数值模拟和喷淋式反应室结构优化

殷海波王晓亮冉军学胡国新肖红领王翠梅杨翠柏李晋闽侯洵 · 2008

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GaN

期刊名称：

半导体技术 2008 年 S1 期

摘要：

对喷淋式MOCVD反应室内的输运过程及GaN的材料生长进行了二维数值模拟研究。在模拟计算中,分别改变反应腔体几何形状、顶盘入气小孔分布方式等条件,得到反应室内流场、热场及薄膜沉积速率的相应变化。根据对模拟结果的分析,发现基座上方没有涡旋的平直流场及较大的温度梯度有利于提高沉积速率及其均匀性,通过旋转基座可以实现上述结果;腔体内壁的圆弧化、小口径的顶盘入气孔等反应室结构优化方式有助于材料生长的均匀性。