聚酰亚胺多模干涉器结构的加速度传感器

禹忠蒋庄德郑建邦王海容 · 2010

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多模干涉器

期刊名称：

半导体光电 2010 年 02 期

摘要：

研究了一种基于多模干涉器结构的聚合物波导加速度传感器。根据多模干涉器的自映像原理,输入光场受到加速度作用与干涉区产生相对位移,各模式激励系数发生改变,导致输出场强的变化,从而测得加速度。加速度传感器的悬臂梁形变通过有限元方法进行仿真分析,多模干涉器的光传输性能通过束传播法仿真分析,优化了结构和光学性能。