高调谐BST薄膜制备及介电性能研究

俞健廖家轩金龙魏雄邦汪澎尉旭波徐自强 · 2011

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中间热处理

高调谐

溶胶凝胶法

钛酸锶钡

期刊名称：

物理学报 2011 年 07 期

摘要：

用改进的溶胶凝胶(sol-gel)法逐层制备钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜,研究中间热处理(preheating,PT)对薄膜结构及介电性能的影响.X射线衍射(XRD)表明,BST薄膜主要沿(110)方向生长,对应立方钙钛矿结构,PT使晶化增强.X射线光电子能谱(XPS)表明,PT促使表面非钙钛矿结构向钙钛矿结构转变.原子力显微镜(AFM)和介电性能测试表明,随着PT频次的增加,薄膜形貌改善,表面粗糙度降低,介电调谐率大幅度提高,其中,在20V偏压下逐层PT的薄膜对应超过55%...