激光合成波长纳米位移测量干涉仪的研制

严利平陈本永 · 2016

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期刊名称：

金属加工(冷加工) 2016 年 07 期

摘要：

大范围高精度的纳米位移测量技术及仪器是支撑高端装备制造技术提升的一项基础关键技术。目前超精密加工、微电子制造等技术的迅速发展对纳米位移测量技术提出了既要测量范围达到毫米量程又要同时达到纳米级测量精度的要求。论文采用合成波长