衬底材料对Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3薄膜介电性能的影响

娄建忠李振娜方晓燕代秀红宋安英宋建民刘保亭 · 2016

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脉冲激光沉积

Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜

外延

介电性能

期刊名称：

人工晶体学报 2016 年 04 期

摘要：

采用脉冲激光沉积系统分别在LaAlO_3(001)和MgO(001)衬底上沉积了Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3(BST)薄膜,以Pt做电极分别构架了Pt/BST/MgO和Pt/BST/LaAlO_3叉指电容器。利用X射线衍射仪、原子力显微镜和Aglient E4980LCR表分别对两种薄膜的结构、表面形貌和介电特性进行表征。研究发现:两种衬底都可以实现BST(001)薄膜的外延生长,MgO和LaAlO_3衬底上BST薄膜的晶粒尺寸分别为52 nm和42 nm。在室温40 V偏置电压下,P...