PdCr薄膜电阻应变计研制及其高温应变敏感性能研究
摘要：
在航空航天以及核电领域中,准确测量高温部件的应变、疲劳等结构参数十分重要,对满足高温应用环境的高温应变计需求非常迫切。在镍基合金基底上研制了Pd Cr薄膜电阻应变计,依次在基片上沉积Ni Cr Al Y作为过渡层来增强附着性,沉积YSZ/Al2O3作为复合绝缘层满足绝缘性需求,溅射Pd Cr合金作为应变敏感层,并采用金属掩模对Pd Cr敏感层进行图形化,最后沉积Al2O3薄膜层作为高温保护层,并对Pd Cr薄膜应变计的应变敏感系数(GF)以及高温环境下的表观应变、漂移应变等性能进行了表征。结果表明,...
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