嵌套环式MEMS振动陀螺的静电修调算法

于得川何汉辉周鑫肖定邦吴学忠 · 2017

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嵌套环式微机电系统振动陀螺

频率裂解

频率修调

模态匹配

期刊名称：

传感器与微系统 2017 年 07 期

摘要：

对于工作在n=2模态谐振结构,静电修调是一种消除频率裂解、实现模态匹配的常用方法。基于环形谐振子的刚度扰动模型,提出了一种直观而实用的修调算法。通过巧妙地近似,并将嵌套环结构的内置修调电极等效为两簇簇带负刚度的"径向弹簧",从而将单环谐振结构的理论模型成功应用于多环嵌套结构。最后通过静电修调实验对该算法进行了验证,实现了带误差谐振子的模态匹配。实验结果表明:通过该算法频率裂解从15 Hz左右被修到0.03 Hz左右。