高世代平板显示光刻机照明系统中梯形视场的设计与仿真

曹昌智刘悠嵘郑继红 · 2017

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液晶显示

期刊名称：

光学仪器 2017 年 03 期

摘要：

针对大面积薄膜晶体管(TFT)液晶显示生产中的高世代光刻机(6代以上)照明系统改进,设计了一种新颖的梯形拼接照明视场方案。使用设置在微透镜阵列入瞳处的视场光阑阵列实现了梯形拼接照明视场,同时简化了系统设计。相较于以尼康平板液晶显示器(FPD)光刻机为代表的现有梯形拼接视场方案,提出的设计方案能减少投影物镜的热负担,同时在一定程度上提高照明系统的光能透过率。通过Lighttools建模分析,说明该设计方案能够实现梯形照明视场并且积分均匀性在1%以内,达到了设计预期效果。