程序降温下金属氧化物气敏材料的高通量筛选

王永庆张顺平张春雷杜妍 · 2018

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气体传感器

金属氧化物

三元复合

高通量筛选

期刊名称：

传感器与微系统 2018 年 06 期

摘要：

利用微滴预混转印装置并行合成了三元复合三氧化钨(WO_3)、氧化锡(SnO_2)以及氧化钴(Co_3O_4)的金属氧化物气敏膜;利用气敏材料高通量性能测试平台,使用程序降温方法对合成的气敏膜在乙醇气氛下进行测试。配套平台能够快速完成材料的"并行合成-高通量筛选",大幅提高了气敏材料的研发效率。实验获得了45种复合气敏膜在程序降温下的敏感度最大值,发现动态敏感度最大的是23号材料(WO_3,Co_3O_4,SnO_2为1︰2︰5),其对50×10~(-6)乙醇的动态响应高达-821.5(p型响应),充...