一种压阻式压力传感器的温度补偿方法

李冀胡国清周永宏邹崇吴翩卉 · 2018

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硅压阻式压力传感器

温度补偿

样条插值

最小二乘拟合

期刊名称：

仪表技术与传感器 2018 年 06 期

摘要：

针对压阻式压力传感器的温度补偿问题,提出一种将样条插值与最小二乘拟合相结合的补偿算法,并结合传感器标定实验数据进行仿真试验。结果表明该方法相比曲面拟合方法、BP神经网络和RBF神经网络,补偿最大相对误差和平均补偿时间分别为0.103%和0.135 4 s,不仅能够满足高精度测试要求,而且可减少标定工作量达到提升生产效率的目的。