InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触（英文）
张静
吕红亮
倪海桥
牛智川
张义门
张玉明
· 2018
期刊名称：
红外与毫米波学报
2018 年
06 期
摘要：
为了得到较低的接触电阻,研究了帽层未掺杂的InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触.利用传输线模型(TLM)测量了接触电阻Rc.在最佳的快速热退火条件为275℃和20s时,InAs/AlSb异质结的Pd/Ti/Pt/Au接触电阻值为0.128Ω·mm.TEM观察发现经过快速热退火后Pd已经扩散到半导体中有利于高质量欧姆接触的形成.研究表明经过Pd/Ti/Pt/Au合金化欧姆接触后Rc有明显减小,适用于InAs/AlSb异质结的应用.
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