微液滴注法制备掺杂ZnO传感器及其气敏性能研究

宋振林张覃轶孟鑫姚志伟张顺平 · 2019

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ZnO

气体传感器

微液滴注

掺杂

期刊名称：

传感器与微系统 2019 年 05 期

摘要：

采用自制ZnO颗粒,通过丝网印刷制备了ZnO平板型厚膜气体传感器,使用微液滴注的方法对ZnO传感器进行Mg,Mn,Sn,Pd掺杂,测量了传感器对乙醇、丙酮、苯、乙酸的气敏性能。结果表明:微滴掺杂能有效提高传感器敏感性和选择性,其中,Mg掺杂传感器对乙醇和丙酮具有最大响应值,同时Mn掺杂传感器对乙酸表现出了较好的选择性。