绝缘体表面电荷的开尔文探针力显微镜测量方法

何月何鹏幸代鹏曾慧中张万里 · 2018

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开尔文探针力显微镜

绝缘体材料

表面电荷测量

反射镜薄膜

期刊名称：

电子测量技术 2018 年 12 期

摘要：

研究了一种基于开环模式开尔文探针力显微镜的表面电荷测量方法。该方法能够避免闭环模式开尔文探针力显微镜中外加直流偏压对电荷测量的影响。研究了针尖-样品间距、交流电压、比例系数等参数对电势测量的影响,优化了开环模式开尔文探针力显微镜电荷测量方法,并将该方法运用于反射镜薄膜表面电荷积累特性的研究。实验结果表明针尖-样品间距直接影响开环模式开尔文探针力显微镜电荷测量的准确性,当针尖-样品间距控制在100nm时,实验成功检测到反射镜在等离子环境中的表面电荷积累效应,并且实现高于100nC/cm~2的电荷分辨率...