离子束溅射氧化钽薄膜光学特性的热处理效应

王利栓杨霄刘丹丹姜承慧刘华松季一勤张锋樊荣伟陈德应 · 2018

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Ta_2O_5薄膜

期刊名称：

红外与激光工程 2018 年 03 期

摘要：

主要研究了离子束溅射制备的氧化钽薄膜在大气氛围下热处理对其光学特性的影响规律。实验中热处理温度范围的选择为150~550℃,间隔为200℃。研究中分别采用介电常数的CodyLorentz色散模型和振子模型对氧化钽薄膜的能带特性(1~4 eV)和红外波段(400~4 000 cm~(-1))的微结构振动特性进行了表征。研究结果表明,在150℃和350℃之间出现热处理温度转折点,即热处理温度高于此值时消光系数增加。Urbach能量的变化与消光系数趋势相同,而禁带宽度的变化与消光系数恰好相反。通过红外微结...