剪切压电陶瓷块微位移测量及非线性修正

徐胜石书丽高思田陈本永李琪 · 2016

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计量学

期刊名称：

计量学报 2016 年第37卷卷第6期期

摘要：

通过搭建的剪切压电陶瓷块微位移测量系统,进行了5个不同目标电压的剪切压电陶瓷微位移测量实验,对实验数据分别进行二阶、三阶、四阶最小二乘拟合后进行非线性修正实验,其中采用三阶最小二乘拟合进行修正时效果最好,其位移1 050nm行程时最大非线性误差为3 nm。对所得三阶最小二乘拟合多项式的系数进行样条插值拟合,从而实现对不同目标位移的非线性修正,其中位移900nm行程时最大非线性误差为4nm,仅为原始非线性误差的11%。

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